Influence of sputtering gas on resistivity of thin Ni silicide films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of sputtering gas on resistivity of thin Ni silicide films

著者

和文:	Imamura, H., Kakushima, K., Kataoka, Y., Nishiyama, A., Sugii, N., 若林整, Tsutsui, K., Natori, K., Iwai, H..
英文:	Imamura, H., Kakushima, K., Kataoka, Y., Nishiyama, A., Sugii, N., Hitoshi Wakabayashi, Tsutsui, K., Natori, K., Iwai, H..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	China Semiconductor Technology International Conference 2015, CSTIC 2015

巻, 号, ページ

出版年月

2015年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI