Effects of Fixed End Structure on Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever toward MEMS Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Fixed End Structure on Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever toward MEMS Applications

著者

和文:	渡邊瞳, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 飯田慎一, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Hitomi Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)

開催地

和文:
英文:	Rhodes