Temperature Dependence Structure Stability of Ti/Au Layered Micro-Cantilevers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Temperature Dependence Structure Stability of Ti/Au Layered Micro-Cantilevers

著者

和文:	渡邊瞳, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 飯田慎一, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Hitomi Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 1st Tokyo Tech-NCTU Joint Symposium on Advanced Materials

巻, 号, ページ

p. 45

出版年月

2019年9月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 1st Tokyo Tech-NCTU Joint Symposium on Advanced Materials

開催地

和文:
英文:	Tokyo