A design of spring constant arranged for MEMS accelerometer by multi-layer metal technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A design of spring constant arranged for MEMS accelerometer by multi-layer metal technology

著者

和文:	山根大輔, Konishi, T., Safu, T., Toshiyoshi, H., 曽根正人, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Konishi, T., Safu, T., Toshiyoshi, H., Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2016

巻, 号, ページ

pp. 419-422

出版年月

2016年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI