Development of novel Pb, Li, Na and K-free piezoelectric materials for Si-based MEMS application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of novel Pb, Li, Na and K-free piezoelectric materials for Si-based MEMS application

著者

和文:	舟窪浩, 安井伸太郎, Yazawa, K., Nagata, J., Oikawa, T., Yamada, T., Uchida, H..
英文:	HIROSHI FUNAKUBO, Shintaro Yasui, Yazawa, K., Nagata, J., Oikawa, T., Yamada, T., Uchida, H..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 2012 21st IEEE Int. Symp. on Applications of Ferroelectrics held jointly with 11th IEEE European Conference on the Applications of Polar Dielectrics and IEEE PFM, ISAF/ECAPD/PFM 2012

巻, 号, ページ

出版年月

2012年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI