Detection of Bacterial Fluorescence by the Combination of MEMS Microfluidic Chip and Si Photodetector toward On-chip Biological Sensing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Detection of Bacterial Fluorescence by the Combination of MEMS Microfluidic Chip and Si Photodetector toward On-chip Biological Sensing

著者

和文:	Onishi, S., Joon, C. Y., Ishida, M., Sawada, K., Ishii, H., 町田克之, 益一哉, Nikaido, Y., Saito, M., Yoshida, S..
英文:	Onishi, S., Joon, C. Y., Ishida, M., Sawada, K., Ishii, H., Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Nikaido, Y., Saito, M., Yoshida, S..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SEMICONDUCTOR PROCESS INTEGRATION 10

巻, 号, ページ

Vol. 80 No. 4 pp. 157-164

出版年月

2017年

出版者

和文:
英文:	ELECTROCHEMICAL SOC INC

会議名称

和文:
英文:	Symposium on Semiconductor Process Integration 10 held during the 232nd Meeting of the Electrochemical-Society (ECS)

開催地

和文:
英文:	National Harbor

DOI