一軸加圧熱処理によるエピタキシャルTixOy薄膜の構造･特性制御

論文・著書情報

タイトル

和文:	一軸加圧熱処理によるエピタキシャルTixOy薄膜の構造･特性制御
英文:	Structure and property modification of epitaxial TixOy thin films by post-depositional uniaxial compressive annealing

著者

和文:	生田貴大, 堀松芳樹, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Takahiro Ikuta, Yoshiki Horimatsu, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月4日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 80th JSAP Autumn Meeting, 2019

開催地

和文:	札幌
英文:	Sapporo

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