室温パルスレーザー照射を用いた種々の基板及びバッファ層上における非晶質Ga2O3薄膜のエピタキシャル結晶化

論文・著書情報

タイトル

和文:	室温パルスレーザー照射を用いた種々の基板及びバッファ層上における非晶質Ga2O3薄膜のエピタキシャル結晶化
英文:	Epitaxial crystallization of Ga2O3 thin films on various substrates and buffer layer by room temperature pulsed laser irradiation

著者

和文:	松島拓海, 森田公之, 土嶺信男, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Takumi Matsushima, Hiroyuki Morita, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月4日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 80th JSAP Autumn Meeting, 2019

開催地

和文:	札幌
英文:	Sapporo

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