MEMS Accelerometer Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	MEMS Accelerometer Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology

著者

和文:	町田克之, 山根大輔, 小西敏文, 飯田慎一, 石原昇, Chang Tso-Fu Mark, 曽根正人, 伊藤浩之, 益一哉.
英文:	Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Shin-ichi Iida, Noboru Ishihara, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ECS Transactions

巻, 号, ページ

Vol. 92 pp. 169-184

出版年月

2019年7月3日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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