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論文・著書情報


タイトル
和文:アモルファス炭素膜の熱分解挙動と構造変化の均一性 
英文: 
著者
和文: 赤坂 大樹, Sarayut Tunmee, Chanan Euaruksakun, Ukit Rittihong, Ratchadaporn Supruangnet, 平田 祐樹, 大竹 尚登.  
英文: Hiroki Akasaka, Sarayut Tunmee, Chanan Euaruksakun, Ukit Rittihong, Ratchadaporn Supruangnet, Yuki Hirata, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2019年3月9日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会 
英文:JSAP Spring Meeting 2019 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 

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