MEMS-based Electromagnetic Membrane Actuator Utilizing Bonded Magnets with Fine-pitch Stripe Pattern and Large-cross-section Meandering Coil

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	MEMS-based Electromagnetic Membrane Actuator Utilizing Bonded Magnets with Fine-pitch Stripe Pattern and Large-cross-section Meandering Coil

著者

和文:	QI Chao, 韓冬, 進士忠彦.
英文:	Chao Qi, Dong Han, TADAHIKO SHINSHI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering of Nanotechnology

巻, 号, ページ

D38

出版年月

2019年11月12日

出版者

和文:
英文:	JSPE

会議名称

和文:
英文:	8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering of Nanotechnology / ASPEN2019

開催地

和文:
英文:	Shimane