Hotspot Detection Methods and their Evaluation in Advanced Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Hotspot Detection Methods and their Evaluation in Advanced Lithography

著者

和文:	高橋篤司, 高橋秀和, 小椋弘貴, 佐藤真平.
英文:	Atsushi Takahashi, Hidekazu Takahashi, Hiroki Ogura, Shimpei Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. the 16th International SoC Design Conference (ISOCC '19)

巻, 号, ページ

p. 121

出版年月

2019年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: