Diagnostics  of  Electron  Temperature  and  Density  of  Low-pressure Microwave Discharge Ar Plasma by Optical Emission Spectroscopy Based on Collisional Radiative Model

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Diagnostics of Electron Temperature and Density of Low-pressure Microwave Discharge Ar Plasma by Optical Emission Spectroscopy Based on Collisional Radiative Model

著者

和文:	山崎文徳, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Fuminori Yamazaki, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of APSPT11

巻, 号, ページ

出版年月

2019年12月11日

出版者

和文:
英文:	Program Committee of APSPT11

会議名称

和文:
英文:	The 11th Asia Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT11)

開催地

和文:	金沢
英文:	Kanazawa

公式リンク