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論文・著書情報


タイトル
和文:低圧プラズマプロセスによる細菌細胞の分解と細菌細胞を用いた半導体のドライエッチング 
英文: 
著者
和文: 松谷晃宏, 高田 綾子.  
英文: Akihiro Matsutani, 高田 綾子.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 2011    No. 71    pp. 5-8
出版年月 2011年12月15日 
出版者
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会議名称
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開催地
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