Fluorine and oxygen plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fluorine and oxygen plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics

著者

和文:	宮下健司, 津之浦徹, 吉田克己, 矢野豊彦, 岸幸男.
英文:	Kenji Miyashita, Toru Tsunoura, Katsumi Yoshida, Toyohiko Yano, Yukio Kishi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 58 SEEC01

出版年月

2019年6月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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