Plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics

著者

和文:	宮下健司, 津之浦徹, 吉田克己, 矢野豊彦.
英文:	Kenji Miyashita, Toru Tsunoura, Katsumi Yoshida, Toyohiko Yano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

P-21

出版年月

2018年11月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)

開催地

和文:
英文:	Nagoya