High Hall-Effect Mobility of Large-Area Atomic-Layered Polycrystalline ZrS2 Film using UHV RF Magnetron Sputtering and Sulfurization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Hall-Effect Mobility of Large-Area Atomic-Layered Polycrystalline ZrS2 Film using UHV RF Magnetron Sputtering and Sulfurization

著者

和文:	濱田昌也, Kentaro Matsuura, 坂本拓朗, 宗田伊理也, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Masaya Hamada, Kentaro Matsuura, Takuro Sakamoto, Iriya Muneta, Takuya Hoshii, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of the Electron Devices Society (J-EDS)

巻, 号, ページ

Vol. 7 No. 1 pp. 1258-1263

出版年月

2019年12月

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI