Three-dimensional dopant imaging in semiconductor crystals using photoelectron holography with chemical state identification

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Three-dimensional dopant imaging in semiconductor crystals using photoelectron holography with chemical state identification

著者

和文:	Tomohiro Matsushita, 室隆桂之, 筒井一生, Takayoshi Yokoya.
英文:	Tomohiro Matsushita, Takayuki Muro, Kazuo Tsutsui, Takayoshi Yokoya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Int. Workshop on Juction Technology (IWJT2019)

開催地

和文:
英文:	Kyoto