Pulse deposition of Y2O3 films by Y(iPrCp)3 assisted by Ar boost technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pulse deposition of Y2O3 films by Y(iPrCp)3 assisted by Ar boost technology

著者

和文:	Y. W. Lin, J. Song, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	Y. W. Lin, J. Song, T. Hoshii, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, K. Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices -Science and Technology- (IWDTF2019)

開催地

和文:
英文:	Tokyo