高速スキャンニングCWレーザ・アニーリングを用いたシリコン基板温度変化の有限要素法による考察

論文・著書情報

タイトル

和文:	高速スキャンニングCWレーザ・アニーリングを用いたシリコン基板温度変化の有限要素法による考察
英文:

著者

和文:	金子智, 秋山賢輔, 伊藤健, 安井学, 本泉佑, 田中聡美, 加藤千尋, 平林康男, 小沢武, 松野明, 楡崇, 吉本護.
英文:	金子智, 秋山賢輔, 伊藤健, 安井学, 本泉佑, 田中聡美, 加藤千尋, 平林康男, 小沢武, 松野明, 楡崇, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2011 No. 1 pp. 31-34

出版年月

2011年3月4日

出版者

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会議名称

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開催地

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