FinFET応用に向けた選択成長GaNチャネルの電気特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	FinFET応用に向けた選択成長GaNチャネルの電気特性
英文:

著者

和文:	濱田拓也, 向井勇人, 高橋言緒, 井手利英, 清水三聡, 星井拓也, 角嶋邦之, 若林整, 岩井洋, 筒井一生.
英文:	Takuya Hamada, Hayato Mukai, 高橋言緒, 井手利英, 清水三聡, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hitoshi Wakabayashi, HIROSHI IWAI, KAZUO TSUTSUI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年8月30日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第82回半導体・集積回路シンポジウム
英文:

開催地

和文:	東京
英文: