立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング

論文・著書情報

タイトル

和文:	立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング
英文:

著者

和文:	向井勇人, 濱田拓也, 高橋言緒, 井出利英, 清水三聡, 星井拓也, 角嶋邦之, 若林整, 岩井洋, 筒井一生.
英文:	Hayato Mukai, Takuya Hamada, 高橋言緒, 井出利英, 清水三聡, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hitoshi Wakabayashi, HIROSHI IWAI, KAZUO TSUTSUI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文: