スパッタMoS2膜の HfO2膜越し硫化における表面残留硫黄除去

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタMoS2膜の HfO2膜越し硫化における表面残留硫黄除去
英文:

著者

和文:	谷川晴紀, 松浦賢太朗, 濱田昌也, 坂本拓朗, 宗田伊理也, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Haruki Tanigawa, Kenntarou Matsuura, Masaya Hamada, Takuro Sakamoto, Iriya Muneta, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文: