F.G.アニールによるMoSi2/スパッタMoS2界面コンタクト抵抗低減

論文・著書情報

タイトル

和文:	F.G.アニールによるMoSi2/スパッタMoS2界面コンタクト抵抗低減
英文:

著者

和文:	松浦賢太朗, 濱田昌也, 坂本拓朗, 谷川晴紀, 宗田伊理也, 石原聖也, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.
英文:	Kenntarou Matsuura, Masaya Hamada, Takuro Sakamoto, Haruki Tanigawa, Iriya Muneta, 石原聖也, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Atsushi Ogura, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年3月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第66回応用物理学会春期学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: