Bevel depth profiling by high-spatial-resolution sputtered neutral mass spectrometry with laser postionization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Bevel depth profiling by high-spatial-resolution sputtered neutral mass spectrometry with laser postionization

著者

和文:	Takahiro Kashiwagi, * Satoru Nagashima, Takeharu Ishikawa, Akio Takano, Suet-Yi Liu, Hisataka Takenaka, Katsumi Endo, 藤井正明.
英文:	Takahiro Kashiwagi, * Satoru Nagashima, Takeharu Ishikawa, Akio Takano, Suet-Yi Liu, Hisataka Takenaka, Katsumi Endo, Masaaki Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena

巻, 号, ページ

出版年月

2018年5月3日

出版者

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会議名称

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開催地

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