微細化パターンの結像特性に基づくリソグラフィ用露光装置のシステム設計 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細化パターンの結像特性に基づくリソグラフィ用露光装置のシステム設計
英文:

著者

和文:	鈴木一明.
英文:	Kazuaki Suzuki.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京大学

報告番号

学位授与日

2017/10/12

審査員

高増潔，鈴木宏正，高橋哲, 木下裕介，堀内敏行.

公式リンク

https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/?action=pages_view_main&active_action=repository_view_main_item_detail&item_id=52251&item_no=1&page_id=28&block_id=31
https://iss.ndl.go.jp/books/R000000025-I007399457-00

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