Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Ultrathin membrane masks for electron projection lithography 
著者
和文: O. R. Wood II, W. J. Trybula, J. Greschner, S. Kalt, T. Bayer, S. Shimizu, H. Yamamoto, 鈴木一明, M. S. Gordon, C. F. Robinson, R. S. Dhaliwal, C. W. Thiel, N. Caldwell, M. S. Lawliss, C. Huang.  
英文: O. R. Wood II, W. J. Trybula, J. Greschner, S. Kalt, T. Bayer, S. Shimizu, H. Yamamoto, Kazuaki Suzuki, M. S. Gordon, C. F. Robinson, R. S. Dhaliwal, C. W. Thiel, N. Caldwell, M. S. Lawliss, C. Huang.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J. Vac. Sci. Technol. B 
巻, 号, ページ Vol. 22        pp. 3072-3076
出版年月 2004年12月10日 
出版者
和文: 
英文:American Vacuum Society 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.