Application of electron projection lithography to contacts in 65nm node and beyond

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Application of electron projection lithography to contacts in 65nm node and beyond

著者

和文:	J. Ikeda, A. Yamada, S. Shimizu, N. Hirayanagi, 鈴木一明.
英文:	J. Ikeda, A. Yamada, S. Shimizu, N. Hirayanagi, Kazuaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Digest of papers of 16th MicoProcesses and Nanotechnology Conference

巻, 号, ページ

pp. 12-13

出版年月

2003年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	16th MicroProcesses and nanotechnology conference

開催地

和文:
英文: