Integrated three-dimensional microelectromechanical devices from processable carbon nanotube wafers

論文・著書情報

タイトル

和文:	Integrated three-dimensional microelectromechanical devices from processable carbon nanotube wafers
英文:	Integrated three-dimensional microelectromechanical devices from processable carbon nanotube wafers

著者

和文:	HAYAMIZU, Y, YAMADA, T, MIZUNO, K, et al., 早水裕平.
英文:	HAYAMIZU, Y, YAMADA, T, MIZUNO, K, et al., Yuhei Hayamizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	NATURE NANOTECHNOLOGY
英文:	NATURE NANOTECHNOLOGY

巻, 号, ページ

Vol. 3 No. 5 pp. 289-294

出版年月

2008年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI