Electrodeposited High Strength Au-TiO2 Nano Composite Film for MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrodeposited High Strength Au-TiO2 Nano Composite Film for MEMS Devices

著者

和文:	CHIEN Yu-An, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Yu-an Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第67回応用物理学会春季学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年3月1日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第67回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:
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