Evaluation of Metal/Polymer Adhesion and Highly Reliable Four-Point Bending Test Using Stealth Dicing Method in 3D Integration

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of Metal/Polymer Adhesion and Highly Reliable Four-Point Bending Test Using Stealth Dicing Method in 3D Integration

著者

和文:	YangYi-Lun, 伊藤浩之, YOUNGSUKKIM, 大場隆之, CHENKUAN-NENG.
英文:	Yi-Lun Yang, Hiroyuki Ito, Kim Youngsuk, Takayuki Ohba, Kuan-Neng Chen.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology

巻, 号, ページ

出版年月

2020年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: