Preparation of iridium metal films by spray chemical vapor deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of iridium metal films by spray chemical vapor deposition

著者

和文:	Yoshiyuki Seki, Yutaka Sawada, 舟窪浩, 河野和久, Noriaki Oshima.
英文:	Yoshiyuki Seki, Yutaka Sawada, Hiroshi Funakubo, Kazuhisa Kawano, Noriaki Oshima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MRS Advances

巻, 号, ページ

出版年月

2020年2月4日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI