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論文・著書情報


タイトル
和文:二元同時スパッタリング法によるAl1-xScxN薄膜の作製と強誘電性評価 
英文: 
著者
和文: 安岡慎之介, 清水荘雄, 上原雅人, 舟窪浩.  
英文: Shinnosuke Yasuoka, Takao Shimizu, 上原雅人, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2020年1月9日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第58回セラミックス基礎科学討論会 
英文: 
開催地
和文:名古屋市 
英文: 

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