HfO2基薄膜のZr, Yドープによる結晶相変化と強誘電相の安定性

論文・著書情報

タイトル

和文:	HfO2基薄膜のZr, Yドープによる結晶相変化と強誘電相の安定性
英文:

著者

和文:	田代裕貴, 三村和仙, 清水荘雄, 勝矢良雄, 坂田修身, 木口賢紀, 白石貴久, 今野豊彦, 舟窪浩.
英文:	Yuki Tashiro, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Yoshio Katsuya, Osami Sakata, Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Toyohiko Konno, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年1月9日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第58回セラミックス基礎科学討論会
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開催地

和文:	名古屋市
英文: