A direct plasma injection system into an RFQ for clean and safe ion implantation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A direct plasma injection system into an RFQ for clean and safe ion implantation

著者

和文:	竹内猛, 片山武司, 岡村昌宏, 矢野勝喜, 作美明, 服部俊幸, 林﨑規託, Jameson A. Robert.
英文:	Takeshi Takeuchi, Takeshi Katayama, Masahiro Okamura, Katsuki Yano, Akira Sakumi, Toshiyuki Hattori, Noriyosu Hayashizaki, Robert A. Jameson.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

巻, 号, ページ

Vol. 188 pp. 233-237

出版年月

2002年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI