Improvement of ionization yield in sputtered neutral mass spectrometry using pulsed infrared and ultraviolet lasers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of ionization yield in sputtered neutral mass spectrometry using pulsed infrared and ultraviolet lasers

著者

和文:	Reiko Saito, 圷晴子, Jun Asakawa, Yue Zhao, Kei Kiyokawa, Masato Morita, Tetsuo Sakamoto, 藤井正明.
英文:	Reiko Saito, Haruko Akutsu, Jun Asakawa, Yue Zhao, Kei Kiyokawa, Masato Morita, Tetsuo Sakamoto, Masaaki Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol., B

巻, 号, ページ

Vol. 38 No. 3 pp. 034011-1-5

出版年月

2020年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI