Numerical Analysis of Pattern Shape Deformation in UV Imprint Due to Curing Shrinkage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical Analysis of Pattern Shape Deformation in UV Imprint Due to Curing Shrinkage

著者

和文:	大西有希, 山下龍之介, 天谷賢治, Yoshihiko Hirai.
英文:	Yuki Onishi, Ryunosuke Yamashita, Kenji Amaya, Yoshihiko Hirai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Photopolymer Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 33 No. 2 pp. 245--250

出版年月

2020年5月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文:

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