スパッタ法と硫黄雰囲気アニールで成膜した高いホール効果移動度を持つ層状ZrS2膜

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタ法と硫黄雰囲気アニールで成膜した高いホール効果移動度を持つ層状ZrS2膜
英文:

著者

和文:	濱田昌也, 松浦賢太朗, 宗田伊理也, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Masaya Hamada, Kentaro Matsuura, Iriya Muneta, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

和文:	北海道
英文: