スパッタMoS2膜のSF6プラズマ処理によるシート抵抗低減

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタMoS2膜のSF6プラズマ処理によるシート抵抗低減
英文:

著者

和文:	堀口大河, 濱田拓也, 辰巳哲也, 冨谷茂隆, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Taiga Horiguchi, Takuya Hamada, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

和文:	北海道
英文: