スパッタMoS2膜とTiSi2膜の界面におけるFGアニールによるコンタクト抵抗低減

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタMoS2膜とTiSi2膜の界面におけるFGアニールによるコンタクト抵抗低減
英文:

著者

和文:	五十嵐智, 望月祐輔, 谷川晴紀, 濱田昌也, 松浦賢太朗, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Satoshi Igarashi, Yusuke Mochizuki, Haruki Tanigawa, Masaya Hamada, Kentaro Matsuura, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	北海道
英文: