Infrared spectroscopic analysis of reactively formed La-silicate interface layer at La2O3/Si substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Infrared spectroscopic analysis of reactively formed La-silicate interface layer at La2O3/Si substrates

著者

和文:	角嶋邦之, 関拓也, 若林整, 筒井一生, 岩井洋.
英文:	"K. Kakushima", "T. Seki", "H. Wakabayashi", "K. Tsutsui", "H. Iwai".

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Vacuum

巻, 号, ページ

Vol. 149 pp. 14-18

出版年月

2017年6月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI