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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Reliability of La-Silicate Mos Capacitors With Tungsten Carbide Gate Electrode 
著者
和文: 細田 修平, TUOKEDAERHAN KAMALE, 角嶋 邦之, 片岡 好則, 西山 彰, 杉井 信之, 若林 整, 筒井 一生, 名取 研二, 岩井 洋.  
英文: Shuhei Hosoda, Kamale Tuokedaerhan, Kuniyuki Kakushima, Yoshinori Kataoka, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Kenji Natori, Hiroshi Iwai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年10月27日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:224th ECS Meeting in San Francisco 
開催地
和文: 
英文:San Francisco 

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