Analyses of Electrical Activation and Deactivation of Impurities Doped in Scaled-down Si Device Structures by X-ray Photoelectron Spectroscopy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analyses of Electrical Activation and Deactivation of Impurities Doped in Scaled-down Si Device Structures by X-ray Photoelectron Spectroscopy

著者

和文:	筒井一生.
英文:	K. Tsutsui.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年2月18日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology 37 (WIMNACT-37)

開催地

和文:
英文:	Tokyo