Electrical Characteristics of La2O3 Gated MOS Capacitors with Different Wafer Orientation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Characteristics of La2O3 Gated MOS Capacitors with Different Wafer Orientation

著者

和文:	中山寛人, 角嶋邦之, AHMET PARHAT, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	H. Nakayama, K. Kakushima, P. Ahmet, K. Tsutsui, N. Sugii, T. Hattori, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2009年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	216th ECS Meeting

開催地

和文:
英文:	Vienna