Impact of Thin La2O3 Insertion for HfO2 MOSFET

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Impact of Thin La2O3 Insertion for HfO2 MOSFET

著者

和文:	角嶋邦之, 岡本晃一, 足立学, 舘喜一, S. Sato, 川那子高暢, Jin Jisong, AHMET PARHAT, 杉井信之, 筒井一生, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	K. Kakushima, K. Okamoto, M. Adachi, K. Tachi, S. Sato, T. Kawanago, J. Song, P. Ahmet, N. Sugii, K. Tsutsui, T. Hattori, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2008年5月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	213th ECS Meeting

開催地

和文:
英文:	Phoenix