Active microvalve driven by electro-conjugate fluid jet flow with a hydraulic power source on a chip

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Active microvalve driven by electro-conjugate fluid jet flow with a hydraulic power source on a chip

著者

和文:	松原竜也, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Tatsuya Matsubara, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Micromechanics and Microengineering

巻, 号, ページ

Vol. 30 105013 (11pp)

出版年月

2020年7月24日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI