La2O3 Gate Dielectric Thin Film with Sc2O3 Buffer Layer for High Temperature Annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	La2O3 Gate Dielectric Thin Film with Sc2O3 Buffer Layer for High Temperature Annealing

著者

和文:	椎野雄介, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Y. Shiino, K. Kakushima, P. Ahmet, K. Tsutsui, N. Sugii, T. Hattori, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2006年10月29日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 Joint International Meeting of ECS

開催地

和文:
英文:	Cancun