Dependence of Gd2O3 Thin Film Properties on Si Substrate Orienteation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dependence of Gd2O3 Thin Film Properties on Si Substrate Orienteation

著者

和文:	Ikmi Kashiwagi, Chizuru Ohshima, Yongshik Kim, 大見俊一郎, 筒井一生, 岩井洋.
英文:	Ikmi Kashiwagi, Chizuru Ohshima, Yongshik Kim, Shun-ichiro Ohmi, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2002年10月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Workshop on Microelectronics and Electron Devices (uE-ED2002)

開催地

和文:
英文:	Ameritel Inn, Boise, Idaho