High density metal dot array formed by electron beam induced nucleation method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High density metal dot array formed by electron beam induced nucleation method

著者

和文:	筒井一生, A. Himura, 望月雅人, 川崎宏治.
英文:	K. Tsutsui, A. Himura, M. Mochizuki, K. Kawasaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

1999年7月6日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	1999 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conferenc

開催地

和文:
英文:	Yokohama