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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Hydrogen Diffusion and Termination Effects in Hydrocarbon-Molecular-Ion Implanted Silicon Epitaxial Wafers for Advanced CMOS Image Sensors 
著者
和文: 奥山亮輔.  
英文: Ryosuke Okuyama.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号 甲第11599号 
学位授与日 2020/09/25 
審査員  
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